چهارشنبه ٢٦ دی ١٣٩٧
 


شماره خبر :٥٤٨١٤٥   تاریخ انتشار خبر : يکشنبه ١٦ دی ١٣٩٧    ا  ١٤:١١
 
ساخت دستگاه لایه نشانی دو اینچی در دانشگاه صنعتی سهند+ تصاویر

ستگاه لایه نشانی Pulsed Magnetron Sputtering دو اینچی با امکان لایه نشانی مواد فلزی و سرامیکی با توان 600 وات و فرکانس 20-0 کیلو هرتز  با تلاش سرکار خانم سمیرا نصیری دانشجوی دکتری فیزیک پلاسما و با هـدایت راهنـمایی دکتـر اسـلام قـره شعبانی طراحی و ساخته شد.
نهاد رهبری دانشگاه این موفقیت را به ایشان و دکـتر قـره شعبانی و جامعه دانشگاهی تبریک عرض نموده، توفیق روزافزون ایشان را از درگاه ایزد منان مسئلت دارد.

 


1
بسمه تعالی
اسپاترینگ
: بطور کلی جهش اتمها از سطح یک هدف در اثر بمباران بوسیله ذرات پرانرژی را اسپاترینگ )کندوپاش) میگویند. فرآیند اسپاترینگ فرآیندی بینظیر، برتر از سایر فرآیندهاست که برخی از فواید آن عبارت اند از:

·یکنواختی ضخامت
·پوششدهی مواد سخت
·پوششدهی مواد نارسانا
·پوششدهی مواد در حد نانومتر و میکرومتر
·هدفهایی با سطح بزرگ
·عدم ایجاد خلل و فرج
در پدیده اسپاترینگ، اتمهای کنده شده از هدف و جهش داده شده، برای تشکیل لایه نازک روی زیرلایهای قرار میگیرند. در زیر شماتیکی از روش اسپاترینگ آورده شده است.

شماتیکی از روش اسپاترینگ


اسپاترینگ مغناطیسی یکی از موثرترین روشهای اسپاترینگ است، زیرا در این روش پلاسما با اعمال یک میدان مغناطیسی قوی به نواحی نزدیک سطح هدف محدود میشود. این میدان مغناطیسی باعث میشود که مسیر الکترونهای ثانویه تابش شده از هدف منحرف شده و این الکترونها در یک حلقه بسته به موازات سطح کاتد حرکت مارپیچی انجام دهند، به این ترتیب یک پلاسمای کاملا محدود در نزدیکی سطح کاتد قرار میگیرد و باعث بالا رفتن احتمال یونش و افزایش بیشتر از یک مرتبه بزرگی در چگالی پلاسما در همسایگی هدف میشود.
مزایای محدود شدن پلاسما عبارت است از:
·افزایش آهنگ لایهنشانی
·کاهش کندوپاش از زیرلایه و دیوارههای محفظه
·کاهش گرم شدن زیرلایه در حین پوششدهی
·کاهش فشار مورد نیاز گاز کاری
üکاربرد دستگاه اسپاترینگ: لایه نشانی لایه های نازک
üاز قابلیتهای این دستگاه:
·امکان استفاده از منابع تغذیه متفاوت ازجمله DC ، RFو . Pulsed DC
·امکان لایه نشانی در فشارهای خیلی پایین در حدود .10-2 mbar
·امکان لایه نشانی در دمای محیط.
·امکان اندازهگیری ضخامت لایه ها با استفاده از دستگاه ضخامتسنج.
·امکان حرارتدهی به زیرلایه درخلا.
·امکان ورورد همزمان چندین نوع گاز (حداقل دو نوع) به محفظه.
·امکان استفاده بیشتر از یک تارگت.
·مجهز به دو پمپ خلا: پمپ روتاری (پشتیبان) و پمپ دیفیوژن ( توانایی تخلیه محفظه تا فشار
.10-6 mbar

 


امتیازدهی
برای این خبر نظری ثبت نشده است
نظر شما
نام :
ايميل : 
*نظرات :
متن تصویر را وارد کنید:
 





آخرین اخبار
Planets